SiC:六甲電子株式会社


	技術、加工についてのご質問等、ご相談などお気軽にお問合せ下さい。

求人に関するお問い合わせについては、下のボタンをクリック下さい。

ISO9001認証取得品質マネジメントシステムISO14001認証取得環境マネジメントシステム

平成２４年度西宮市
優良事業所顕彰受賞
平成２４年度西宮市優良事業所顕彰受賞

六甲電子株式会社

〒663-8105
兵庫県西宮市中島町8番5号

６・８インチSiCウエハ　新加工プロセス
裏面薄化	：	研削	⇒	CMP(Option)

Epi再生	：	研削	⇒	CMP	⇒	RCA洗浄
	⇒	SICA88	⇒	RCA洗浄

膜除去再生	：	エッチング	⇒	RCA洗浄
		SICA88（Option)	●	TXRF（Option)	●	ICP-MS（Option)

ウエハーメーキング	：	片面研削	⇒	片面研削	⇒	片面CMP
	⇒	片面CMP	⇒	RCA洗浄	⇒	SICA88
		MEM（Option)	●	Tropel（Option)	●	Zygo（Option)

測定サービス	：	MEM（潜傷)	●	Tropel（平面度)	●	TXRF（金属汚染)
	●	ICP-MS（金属汚染)	●	SICA88（スクラッチ)	●	Zygo（面粗さ)

●　量産化に伴う処理枚数能力増加

●　シリコン工程と完全分離し，受入～出荷までを一環処理

●　プロセス短縮によるコスト削減

■ 8インチ　ＳｉＣウエハ超薄化加工
		サポート付きＳｉＣウエハの加工実績例　⇒　60um

■ 8インチ　ＳｉＣ再生加工精度

8インチ　SiC　加工工程ごとのTTV　精度

元ウエハ

研削後

研磨後

単位：um	元ウエハ	研削後	研磨後
N数	4	4	4
平均	2.1	2.9	2
σ	0.37	0.22	0.65

8インチ　SiC　加工工程ごとのSBIR　精度
（Site Size XY 10*10mm Offset XY 0,0)

元ウエハ

研削後

研磨後

単位：um	元ウエハ	研削後	研磨後
N数	4	4	4
平均	0.6	1.3	0.7
σ	0.1	0.02	0.06

8インチ　SiC　加工工程ごとのSFQR　精度
（Site Size XY 10*10mm Offset XY 0,0)

元ウエハ

研削後

研磨後

単位：um	元ウエハ	研削後	研磨後
N数	4	4	4
平均	0.5	0.6	0.5
σ	0.03	0.03	0.01

8インチ　SiC　加工工程ごとの3pt-Warp　精度

元ウエハ

研削後

研磨後

単位：um	元ウエハ	研削後	研磨後
N数	4	4	4
平均	11.1	47.4	13.5
σ	5.1	1.41	8.08

8インチ　SiC　研磨加工後の表面粗さ（Sa)　精度

ウエハ中心部

ウエハ外周部

単位：nm	ウエハ中心部	ウエハ外周部
N数	4	4
平均	0.08	0.08
σ	0.01	0.01

■ 8インチSiC　研磨加工後の欠陥検査
		表面の欠陥MAP （SICA88：共焦点・微分干渉顕微鏡）


		潜傷MAP （ミラー電子式検査装置＝MEM）




BPD		潜傷

■ 8インチSiC　膜除去再生
		エッチング　⇒　RCA洗浄

■ 6/8インチ　各種測定サービス

●　ミラー電子顕微鏡【MEM】
※8インチSiC　対応可

※受託検査対応
表面(Si面)潜傷検査機として使用
加工ダメージ・欠陥を確認

●　SiCウェハ欠陥検査・レビュー装置
【SICA88】※8インチSiC　対応可

※受託検査対応
表面(Si面・C面)のスクラッチ検査として使用
その他、Pit・欠陥等の確認

●　ウェーハ平面度測定・解析装置【Tropel】

※受託検査対応
加工前後の平坦度確認として使用
TTV・NTV・SORI・BOW・WARP等

●　高精度精密測定装置【Zygo】

※受託検査対応
加工後の面粗さ確認として使用(非接触測定)
研削後・CMP後粗さ測定

●　全反射蛍光X線分析装置【TXRF】

※受託検査対応
金属コンタミ・全面スイープ測定可能
【 S Cl K Ca Ti Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn 】

●　誘導結合プラズマ質量分析装置
【ICP-MS】

※受託検査対応
金属コンタミ・各種金属測定可能

TOP ｜会社案内｜事業案内｜六甲の強み｜加工技術｜品質・環境｜アクセス｜お問合せ｜プライバシーポリシー｜パワーデバイス｜半導体センサー｜モニタ再生研磨｜ＭＥＭＳ・試作｜ＳｉＣ｜LT・LN・酸化膜｜化合物ウエハ｜信頼性への拘り｜品質への取組み｜環境への取組み｜安全への取組み｜仮接合｜両面研磨｜Premium process ｜検査装置｜サファイア＆SiC専用グラインダ｜ナイフエッジ防止加工｜バックグラインド｜ポリッシュ｜パターン付ウエハＲＣＡ洗浄｜求人募集｜サイトマップ｜BCP ｜CSR