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平成２４年度西宮市
優良事業所顕彰受賞
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六甲電子株式会社
〒663-8105
兵庫県西宮市中島町8番5号
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パワーデバイスは他のデバイスとは異なり、高い電圧が掛かるため高耐圧のシリコンを使用しており、また、それに倣って電流の数値も高くなるため、耐熱性も必要になってきます。高耐圧化については、シリコンにエピ成長をさせ高い電圧に対応できる完全な結晶とさせ、耐熱性についてはウエハを薄くすることにより、放熱性を向上させます。
我々、六甲電子は後者のウエハを薄くすることに対応し、ウエハの裏面研削を行っております。また、お客様個々の製品特性に影響を与えないようゲッタリング層を形成すべく研削するような砥石・レシピのノウハウを有し、時間を掛け確認し、信頼性の高い製品を提供しております。
また、パワーデバイスは縦に電気が流れるデバイスであるため、裏面に電極を設け、表面に電気を流す構造になっており、裏面の電極にはメタルを蒸着させています。この蒸着面が均一でなければ、接合物の剥がれ（空気などの進入後温度変化により剥がれてしまう）につながるため、通常のストレスリリーフといった研磨面ではなく、ミラー面を要求されております。ここでも我々六甲電子は長年の研磨技術により客先ニーズに対応すべき精度の製品をを提供しております。
これら一連の研削→研磨→RCA洗浄を一貫して行えることが我々の強みです。
製品受入・テープ貼付後・研削後に面状態を目視で検査します。 |
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4～8インチウエハを高精度に平坦に、特性を変えることなく研削します。 |
お客様のご要望・条件により研磨いたします。 |
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バッチ研磨のためプレートにウエハを平坦に貼りつけます。 |
4～8インチウエハをミラー面に研磨いたします。 |
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研磨したウエハをプレートより剥離ます。 |
研磨後のパーティクル・金属汚染の除去のため、ウエハーを洗浄します。 |
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最終出荷前に、お客様条件に対応すべく検査をし、出荷いたします。 |
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