 |
|
|
|
|
技術、加工についてのご質問等、ご相談などお気軽にお問合せ下さい。
 |
|
 |
求人に関するお問い合わせについては、下のボタンをクリック下さい。
|
|
平成２４年度西宮市
優良事業所顕彰受賞
 |
六甲電子株式会社
〒663-8105
兵庫県西宮市中島町8番5号
|
|
|
|
|
|
|
■ ４・６インチ透明体ウエハの超薄化・平坦化
|
新たな設備導入により、超薄化・超平坦化加工が実現！
テラス加工＋超高精度研削機＋CMP＋トリミング加工機を導入
nmレベルの薄化＋超平坦化を実現しました。
|
テラス加工
|
⇒
|
研削加工
|
⇒
|
CMP（平坦化）
|
⇒
|
トリミング加工
|
|
|
⇒
|
|
⇒
|
|
⇒
|
|
|
 |
|
酸化膜 ⇒ 超平坦化加工
|
|
|
|
テラス加工⇒研削加工⇒CMP⇒トリミング
加工前後での面平坦性・粗さデーター
|
| |
|
１ |
２ |
| AVE, |
加工前 |
489nm |
462nm |
| 加工後 |
292nm |
301nm |
| MAX |
加工前 |
610nm |
617nm |
| 加工後 |
298nm |
317nm |
| MIN |
加工前 |
445nm |
380nm |
| 加工後 |
282nm |
281nm |
| TTV |
加工前 |
165nm |
237nm |
| 加工後 |
16nm |
36nm |
| ３σ |
加工前 |
100nm |
165nm |
| 加工後 |
7nm |
21nm |
| Sa |
加工前 |
0.25nm |
0.25nm |
| 加工後 |
0.12nm |
0.12nm |
|
|
