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平成２４年度西宮市
優良事業所顕彰受賞
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六甲電子株式会社
〒663-8105
兵庫県西宮市中島町8番5号
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■ ４インチ
シリコン 両面研磨加工精度
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４インチ シリコン TTV 精度
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N数
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25枚
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平均
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0.234um
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σ
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0.032um
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MAX
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0.294um
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MIN
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0.265um
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外周除外領域
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3mm
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４インチ シリコン 表面粗さ Sa精度
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中心
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1/2R
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外周
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N数
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25枚
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平均
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0.235nm
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0.241nm
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0.242nm
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σ
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0.028nm
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0.019nm
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0.025nm
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MAX
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0.332nm
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0.267nm
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0.299nm
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MIN
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0.2nm
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0,207nm
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0.186nm
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視野角
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88 X 88um
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測定装置
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Zygo Newview NX2
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４インチ シリコン SBIR精度
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N数
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25枚
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平均
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0.202um
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σ
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0.017um
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MAX
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0.224um
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MIN
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0.166um
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外周除外領域
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3mm
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サイトサイズ
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12 X 12mm
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オフセット
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0 X 0mm
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４インチ シリコン SFQR精度
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N数
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25枚
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平均
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0.148um
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σ
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0.011um
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MAX
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0.169um
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MIN
|
0.128um
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|
外周除外領域
|
3mm
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サイトサイズ
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12 X 12mm
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オフセット
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0 X 0mm
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