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■4-8インチ対応
■ナイフエッジ防止加工
■テラス加工
■エッジプロファイル測定
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■テープ接合４・６・８インチ対応
■樹脂接合６・８インチ対応
レジストの付いたいウエハも樹脂接合対応可
■サポート基板対応可
■テラス加工対応可
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■4-8インチ対応
■Bump付きウエハ
■感圧・ＵＶテープ
■BG後リングマウント
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■4-8インチ対応
■バッチ・枚様研磨装置
■片面・両面ミラー仕上げ
■ＧＷＳＳ |
■4-8インチ対応
■膜を薬品で除去
■コンタミ確認対応可
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■４・６・８インチ対応
■高平坦化＜0.5um
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■4-8インチ対応
■膜除去
■ＲＣＡ洗浄
■パーティクル・メタル汚染・厚み・外観検査
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■4-8インチ対応
■BG&POL
■SOI各層厚み管理加工
■GWSS
■キャビティー構造・
貫通電極
■ハーフカットダイシング
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■ディッピング4-8インチ対応
■枚様式4-8インチ対応
■各種化合物ウエハ対応可
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■４・６インチ対応
■酸化膜・LT/LN対応
■nmレベルの平坦化
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■４・６インチ対応
■酸化膜・LT/LN対応
■nmレベルの平坦化
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■６・８インチ対応
■樹脂剥離後にダイシングシングリングにフレームマウント
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■４-８インチ対応
■裏面薄化加工
■Si面・C面エピ再生加工
■膜除去エッチング加工
■ウエハメーキング
■各種測定サービス
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■４-８インチ対応
■各種ウエハ加工サービス
■ベベル・研削・研磨・洗浄・サポート・エッチング 加工etc
■各種測定サービス
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■４-８インチ対応
■パーティクル測定
■コンタミ測定
■平坦度測定
■厚み測定
■比抵抗測定
■P/N測定
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■４-８インチ対応
■SICA88
■MEM
■TROPEL
■ZYGO
■TREX
■ICP-MS
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最終出荷前に、お客様条件に対応すべく検査をし、出荷いたします。
