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平成２４年度西宮市
優良事業所顕彰受賞
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六甲電子株式会社
〒663-8105
兵庫県西宮市中島町8番5号
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検査のみの有償受託検査も対応しております。
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■ 素材別 検査対応表
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○印＝対応OK 各素材＊各検査内容
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素材
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面
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パーティクル
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コンタミ
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平坦度
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厚み測定
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TXRF
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Zygo
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TTV
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SBIR
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SFQR
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BOW
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Warp
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SORI
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接触式
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非接触式
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比抵抗
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P/N測定
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MEM
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SICA
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シリコン
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NドープSiC
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Si面
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C面
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半絶縁SiC
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Si面
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C面
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SiCエピウエハ
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多結晶SiC
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LN
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GaN
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サファイア
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C面
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Ga2O3
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AlN
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Al面
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N面
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石英
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GaN on Si
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GaN on Sap
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GaN on SiC
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SOI
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酸化膜
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ガラス
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● ミラー電子顕微鏡 【MEM】
※8インチSiC 対応可 |
※受託検査対応
表面(Si面)潜傷検査機として使用
加工ダメージ・欠陥を確認
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● SiCウェハ欠陥検査・レビュー装置
【SICA88】※8インチSiC 対応可
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※受託検査対応
表面(Si面・C面)のスクラッチ検査として使用
その他、Pit・欠陥等の確認 |
 
● ウェーハ平面度測定・解析装置 【Tropel】
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※受託検査対応
加工前後の平坦度確認として使用
TTV・NTV・SORI・BOW・WARP等
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※受託検査対応
加工後の面粗さ確認として使用(非接触測定)
研削後・CMP後粗さ測定
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※受託検査対応
金属コンタミ・全面スイープ測定可能
【 S Cl K Ca Ti Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn 】 |
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● 誘導結合プラズマ質量分析装置
【ICP-MS】 |
※受託検査対応
金属コンタミ・各種金属測定可能 |
研磨したウエハのパーティクルを検査します。 |
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研磨したウエハのBOW・WARP・TTVの測定を行います。 |
テープ付きウエハ・ＳＯＩ・支持基盤付きウエハ・樹脂/テープ貼り合わせウエハのシリコン（２枚以上の場合は計りたい方のみ）のみの厚みが測定出来ます。 |
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４・５・６・８インチ対応 |
シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定したポイントの厚さを計測する装置です。
静電容量センサーにより非接触にて、ウェーハ厚さ測定を行います。
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サファイアやSiCなど透明材料の検査用に用いられ、さまざまな欠陥基板傷、汚れ、エピ層ピット、ハッチング、結晶の割れ、などを検出することができます。 |
ウエハの凸凹を立体的に観察できる顕微鏡です。 |
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ハロゲンランプにより研磨加工面の表面異常を確認します。 |
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