検査のみの有償受託検査も対応しております。
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●　ミラー電子顕微鏡 【MEM】 ※受託検査対応 表面(Si面)潜傷検査機として使用 加工ダメージ・欠陥を確認

●　SiCウェハ欠陥検査・レビュー装置 【SICA88】 ※受託検査対応 表面(Si面・C面)のスクラッチ検査として使用 その他、Pit・欠陥等の確認

●　ウェーハ平面度測定・解析装置 【Tropel】 ※受託検査対応 加工前後の平坦度確認として使用 TTV・NTV・SORI・BOW・WARP等

●　高精度精密測定装置 【Zygo】 ※受託検査対応 加工後の面粗さ確認として使用(非接触測定) 研削後・CMP後粗さ測定

●　全反射蛍光X線分析装置 【TXRF】 ※受託検査対応 金属コンタミ・全面スイープ測定可能 【 S Cl K Ca Ti Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn 】

●　誘導結合プラズマ質量分析装置 【ICP-MS】 ※受託検査対応 金属コンタミ・各種金属測定可能

●　自動分光干渉式厚み測定機 テープ付きウエハ・ＳＯＩ・支持基盤付きウエハ・樹脂/テープ貼り合わせウエハのシリコン（２枚以上の場合は計りたい方のみ）のみの厚みが測定出来ます。

●　比抵抗・Ｐ/Ｎ・厚みソーター装置 ４・５・６・８インチ対応

●　静電容量ウエハ厚み測定機　ＴＭＥ－０７ シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定したポイントの厚さを計測する装置です。 静電容量センサーにより非接触にて、ウェーハ厚さ測定を行います。

●　Ｃａｎｄｅｌａ　ＣＳ２０　ウエハ表面検査装置 サファイアやSiCなど透明材料の検査用に用いられ、さまざまな欠陥基板傷、汚れ、エピ層ピット、ハッチング、結晶の割れ、などを検出することができます。

●　微分干渉顕微鏡 ウエハの凸凹を立体的に観察できる顕微鏡です。

●　目視検査 ハロゲンランプにより研磨加工面の表面異常を確認します。