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如果对技术和加工问题需要咨询，请随时与我们联系。
联系人：营业部
TEL: 81-798-65-4508
FAX: 81-798-67-5038
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六甲电子株式会社
邮编: 663-8105
兵库县西宫市中岛町8-5
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■ 按材料分类的加工兼容性图表
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○标记 = 可用K 每种材料＊各处理内容
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加工细节
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材料
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面
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斜角加工
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临时粘合
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磨削
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脱膜蚀刻
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抛光
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双面抛光
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CMP
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RCA清洗
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再生
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gas cluster beam
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框架安装
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|
硅
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○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
|
○
|
|
N-dope SiC
|
Si面
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
C面
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
半绝缘碳化硅
|
Si面
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
C面
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
多晶碳化硅
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|
○
|
○
|
○
|
|
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|
○
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|
○
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LiTaO 3
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|
○
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|
○
|
|
○
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|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
LiNbO3
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|
○
|
|
○
|
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
GaN
|
Ga面
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
N面
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|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
蓝宝石
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○
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
Ga2O3
|
|
○
|
○
|
○
|
|
|
|
|
|
|
|
○
|
|
AlN
|
|
○
|
|
|
|
|
|
|
○
|
|
|
|
|
石英
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|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
GaN on Si
|
|
○
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
GaN on Sap
|
|
○
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
GaN on SiC
|
|
○
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
SOI
|
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
氧化膜
|
|
|
|
|
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
玻璃
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
|
2inchGaN-250um CMP精加工
|
 |
|
|
|
CMP精加工 2inchGaN-250um
|
ウェハ
|
A
|
B
|
C
|
D
|
E
|
TV5
|
AVE.
|
|
um
|
250.4
|
250.4
|
249.6
|
250.7
|
250.2
|
1.1
|
250.3
|
Zygo测量数据
|
No.
|
Sa（表面粗糙度）单位：nm
|
|
外周长
|
中间
|
中心
|
平均的
|
|
1
|
0.097
|
0.188
|
0.194
|
0.160
|
|
|
|
|
6inchSAP-250um CMP精加工
|
 |
|
|
|
CMP精加工 6inchSAP-250um 単位：um
|
ウェハ
|
A
|
B
|
C
|
D
|
E
|
TV5
|
AVE.
|
|
1
|
250.2
|
249.8
|
250.8
|
250.1
|
249.6
|
1.2
|
250.1
|
|
2
|
249.1
|
248.2
|
249.5
|
249.7
|
248.5
|
1.5
|
249.0
|
|
3
|
250.5
|
250.1
|
248.8
|
250.3
|
249.8
|
1.7
|
249.9
|
Zygo测量数据
|
No.
|
Sa（表面粗糙度）单位：nm
|
|
外周长
|
中间
|
中心
|
平均的
|
|
1
|
6.23
|
6.01
|
5.20
|
5.81
|
|
2
|
4.60
|
5.30
|
5.81
|
5.24
|
|
3
|
6.21
|
6.07
|
5.35
|
5.88
|
|
|
|
|
6inch-GaNonSiC(玻璃树脂粘接) CMP精加工
|
 |
|
|
|
|
CMP精加工 6inch-GaNonSiC(玻璃树脂粘接）单位：微米
|
ウェハ
|
A
|
B
|
C
|
D
|
E
|
TV5
|
AVE.
|
|
1
|
50.5
|
50.2
|
50.1
|
48.4
|
49.3
|
2.1
|
49.7
|
|
2
|
50.1
|
49.1
|
50.3
|
50.6
|
50.8
|
1.7
|
50.2
|
|
3
|
49.6
|
49.8
|
50.1
|
51.6
|
50.8
|
2.0
|
50.4
|
Zygo测量数据
|
No.
|
Sa（表面粗糙度）单位：nm
|
|
外周长
|
中间
|
中心
|
平均的
|
|
1
|
0.094
|
0.094
|
0.098
|
0.095
|
|
2
|
0.091
|
0.094
|
0.096
|
0.094
|
|
3
|
0.091
|
0.098
|
0.097
|
0.095
|
|
|
| |
|
|
