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如果对技术和加工问题需要咨询，请随时与我们联系。
联系人：营业部
TEL: 81-798-65-4508
FAX: 81-798-67-5038
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六甲电子株式会社
邮编: 663-8105
兵库县西宫市中岛町8-5
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功率器件与其他器件不同，由于电压较高，因此使用耐高压的硅，而且，由于电流值也相应增加，因此也要求具有耐热性。对于耐高压化，可以通过在硅上外延生长使其应对高电压；而对于耐热性，可通过对晶园减薄来提高散热性。六甲电子对应于后者的晶圆减薄，进行晶圆的背面减薄加工。此外，为了不影响不同客户的不同的产品特性，在形成吸气层方面，我们拥有用于减薄的砂轮・配方的经验技术，不惜花时间进行确认以提供高度可靠的产品。.
另外，由于功率器件是电流纵向流动的器件，在背面要设置电极以形成向表面通电的结构，因此在背面的电极上要蒸镀金属。如果该蒸镀面不均匀，会导致接合物剥离（空气等进入后的温度变化而发生剥离），因此要求使用镜面而不是通常的应力释放的抛光面。在此，我们六甲电子将通过长年累计的抛光技术，来提供满足客户需求的高精度产品。
我们的优势就在于，可以提供减薄→抛光→RCA清洗这一条龙式加工技术。
| 目视检查 |
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全自动减薄机 |
接受产品·贴膜后·减薄后对晶圓面状态进行目视检查。 |
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在不改变特性的状態下以高精度和平坦度对4～8英寸的晶圆进行减薄。 |
| 单片式拋光机 |
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批量粘贴 |
根据客户的要求和条件进行抛光。 |
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从平板上剥离抛光后的晶圆。. |
| 批量抛光 |
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批量剥离 |
将4～8英寸的晶圆抛光至镜面。 |
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从平板上剥离抛光后的晶圆。 |
| RCA清洗 |
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出货前的检查 |
清洗晶圆，清除抛光后的颗粒・金属污染。 |
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在出货之前将根据客户的要求进行检查后出货。 |
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