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如果对技术和加工问题需要咨询，请随时与我们联系。
联系人：营业部
TEL: 81-798-65-4508
FAX: 81-798-67-5038
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六甲电子株式会社
邮编: 663-8105
兵库县西宫市中岛町8-5
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六甲电子在面向蓝宝石・SiC等难加工材料的大直径化时，做出使用常规的硅加工设备终将有局限性的判断，因此导入了用固定磨料来对蓝宝石·SiC等进行减薄加工的专用减薄机。
现在我们在试制各种顾客所要求的晶圆，得到包括后工序在内的评估。.
| ■ 六甲电子对于加工诸如蓝宝石和SiC等难加工材料的考虑方式 |
●与传统的难加工材料的加工厂商不同，本公司拥有半导体关联的顾客为我们培育的环境管理水平（纯水管理・净化室环境・设备/员工培训教育程序/员工认证管理等），可以在与硅材料相同的环境管理水平上进行作业。
●由于目标工件不仅限于正片，而且对于附带器件的晶圆也要进行背面的薄化，考虑到下一道工序中工件的清洁度是必需的，为此构筑了无蜡工艺。
●对于晶圓的薄化（减薄加工）→镜面化·应力消除（抛光加工）→加工面的清洗（金属污染·颗粒的低减）（RCA清洗）以及倒角加工，本公司可独自进行对应。
●与传统的加工方法相比，预计在时间和成本上都会得到降低。
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普通的蓝宝石和SiC的加工 |
六甲电子的蓝宝石和SiC加工 |
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金刚石研磨 |
金刚石抛光CMP（批量式） |
抛光CMP |
减薄 |
抛光CMP |
| 运行成本 |
高
（金属定盘+钻石） |
高
（金属定盘 或 Pad+抛光液）) |
中
（Pad+抛光液） |
中
（金刚石砂轮） |
中
（Pad+抛光液) |
| 加工经验 |
高 |
高 |
中
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高 |
高 |
| 设备成本 |
高 |
高 |
中
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高 |
高 |
| 加工速度 |
极低 |
极低 |
低
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中
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中
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| 备注 |
蜡固定
定盘修正的难易度高
工序多
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蜡固定
定盘修正的难易度高
工序多 |
蜡固定
定盘修正的难易度高 |
真空吸附・蓝宝石・SiC专用全自动减薄装置 |
无蜡抛光 |
■ 新设备：
3、4、5、6英寸对应。 |
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带SiC膜晶圆的再生膜处理是可能的。 |
蓝宝石和SiC专用减薄机
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蓝宝石和SiC专用减薄机 |
可通过自动传送方式进行全自动加工处理 。 |
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用真空吸附晶圆，不需要贴蜡。 |
蓝宝石6英寸
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蓝宝石6英寸 |
带图案晶圆・裸片均可加工处理。 |
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用专用的砂轮进行减薄。 |
SiC 6英寸
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SiC 6英寸 |
带图案晶圆・裸片均可加工处理。. |
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用专用的砂轮进行减薄。 |
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