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如果对技术和加工问题需要咨询，请随时与我们联系。
联系人：营业部
TEL: 81-798-65-4508
FAX: 81-798-67-5038
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六甲电子株式会社
邮编: 663-8105
兵库县西宫市中岛町8-5
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8英寸晶圆也可以再生
测试片的再生加工
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| 这是一项再利用加工，将客户在晶圆生产过程中使用过的测试用假片(Dummy
Wafer)重新生成新的同等质量的晶圆，并可多次使用 。 |
对应晶圆尺寸
3英寸
4英寸
5英寸
6英寸
8英寸 |
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除膜
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化学溶液选择
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验貨
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拋光
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厚度・薄膜类型的分类
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出货
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检查
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清洗
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颗粒・金属污染
厚度和外观
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RCA清洗
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■ 新设备：电阻率・P/N・厚度分选仪
适用于4、5、6、8英寸 |
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电阻率测量范围：1.0m～3.0MΩ・cm |
■ 各加工中使用的机器介绍&说明
| 膜品种分类 |
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除膜 |
熟练工可一目了然地在多种多样的膜品种中进行分选。 |
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通过湿蚀刻去除各种制膜。 |
| 厚度分类 |
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批量式抛光机 |
在除膜后把晶圆按照厚度分类。 |
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进行批量式镜面抛光。 |
| RCA清洗装置 |
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粒子计数器 |
金属污染・颗粒的清除。 |
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我们检查抛光晶圆中的颗粒。 |
| 平面度测量装置 |
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出货前的检查 |
我们将测量抛光晶圆的弯曲度、翘曲度和总厚度变化。 |
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在出货之前将根据客户的要求进行检查后出货。 |
| 全内反射X射线荧光分析仪 【TXRF】 |
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电感耦合等离子体质谱仪
【ICP-MS】 |
※提供合同测试服务。
金属污染和全表面扫描测量可行
[S Cl K Ca Ti Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn] |
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※提供合同测试服务。
可以测量金属污染和各种金属。 |
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