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기술과 가공에 대한 질문, 궁금하신 사항 등 부담을 갖지 마시고 문의해주세요.
담당 : 영업부
TEL: 81-798-65-4508
FAX: 81-798-67-5038
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채용에 관한 문의는 아래 버튼을 클릭해주세요.
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ROKKO ELECTRONICS Co., Ltd.
Zipp: 663-8105
8-5, Nakajima-cho, Nishinomiya-city, Hyogo, Japan
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모니터 웨이퍼 재생 연마 가공
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| 웨이퍼 공정에서 이미 사용한 모니터 더미 웨이퍼를
신제품과 동등한 품질로 재생해 여러 번 사용 가능하게 하는 재활용 공정입니다. 이 공정을 통해 모니터 웨이퍼의
반복 사용이 가능해지므로 소재 비용을 절감 효과를 기대할 수 있습니다. |
웨이퍼 사이즈：
3 인치
4 인치
5 인치
6 인치 |
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막
제거
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약액 선택
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입고 검사
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연마
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두께 및 막 유형 분류
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출하
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최종
검사
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세정
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파티클, 금속 오염, 두께, 외관검사
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RCA 세정
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■ 새 장치：비저항, P/N, 두께 소터 장치
4, 5, 6, 8인치 대응 |
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측정 가능한 저항 범위：1.0m～3.0MΩ・cm |
숙련된 오퍼레이터가 웨이퍼를 막을 종류별로 분류합니다. |
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웨이퍼의 다양한 막은 화학적 에칭으로 제거합니다. |
웨이퍼는 막 제거 후 두께별로 분류합니다. |
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웨이퍼는 세라믹 플레이트에 마운팅합니다. |
배치식 경면 연마를 합니다. |
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웨이퍼는 연마를 한 후 플레이트에서 분리합니다. |
연마 후 웨이퍼의 금속 오염과 파티클 등을 제거하기 위해 세정합니다. |
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연마한 웨이퍼 표면의 파티클을 검사합니다. |
고객의 사양을 기준으로 웨이퍼를 측정하고 검사합니다. |
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| ● 전반사 형광 X선 표면분석장치 TREX610 |
측정 가능한 금속: 12 원소（S, Cl, K, Ca, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu,
Zn) |
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