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ROKKO ELECTRONICS Co., Ltd.

Zipp: 663-8105
8-5, Nakajima-cho, Nishinomiya-city, Hyogo, Japan



加盟団体

SIIQ

NEDIA

SiCアライアンス

SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会

パワーデバイス・イネーブリング協会

SSL GlobalSign Site Seal



▼ 검사 장치


당사는 연삭, 연마, 세정 분야에서 축적해 온 경험을 바탕으로 SiC와 사파이어 가공은 물론이며 Si 웨이퍼 부문의 새로운 기술 개발을 위해 끊임없이 노력하고 있습니다.
또한 고객 만족을 기술 개발과 성공의 토대로 삼고 있는 등 고객 여러분들의 든든한 서포트가 롯코를 성공으로 이끌고 있다고 믿고 있습니다. 이러한 기준을 바탕으로 최첨단 장비와 기술을 도입하고 고객 만족도를 더욱 향상시키기 위해 노력해 나갈 것입니다.

● 비접촉식 가공면 테이프 박리기

비접촉식 가공면 테이프 박리기
테이핑 웨이퍼, SOI 웨이퍼, 접합 웨이퍼, 수지/테이프 접합 웨이퍼의 실리콘(2장 이상인 경우 측정하고 싶은 쪽만)만 두께 측정이 가능합니다.
● 비접촉식 가공면 테이프 박리기

비접촉식 가공면 테이프 박리기
MEMS/센서 웨이퍼를 얇게 가공할 때 총 두께 관리가 아니라 실리콘 레이어, 활성 레이어만 두께 관리가 가능합니다.

새 장치:비저항, P/N, 두께 소터 장치
● 비저항, P/N, 두께 소터 장치

비저항, P/N, 두께 소터 장치
4, 5, 6, 8인치 대응
● 비저항, P/N, 두께 소터 장치

비저항, P/N, 두께 소터 장치
측정 가능한 저항 범위:1.0m~3.0MΩ・cm
● Candela CS20 웨이퍼 표면 검사기

Candela CS20 웨이퍼 표면 검사기
이것은 투명 재료의 검사용으로 이용되며 다양한 결함 기반 흠, 오염, 에피층, 해칭, 결정 깨짐 등을 검출할 수 있습니다.
● Candela CS20 웨이퍼 표면 검사기

Candela CS20 웨이퍼 표면 검사기
웨이퍼 크기:3, 4, 5, 6인치
두께:300–1400 μm
     
● 정전용량형 웨이퍼 두께 측정기

정전용량형 웨이퍼 두께 측정기
이 장치는 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내 웨이퍼의 설정된 포인트에서 두께를 측정합니다.
비접촉 캐패시턴스 센서로 측정합니다.
● 정전용량형 웨이퍼 두께 측정기

정전용량형 웨이퍼 두께 측정기
측정 두께: 100μm~1800μm(웨이퍼 사이즈에 따라 다름).
중심점 측정(기계 구성을 통해 좌표 설정 가능).
● 전반사 형광 X선 표면분석장치 TREX610

전반사 형광 X선 표면분석장치 TREX610
측정 가능한 금속: 12 원소(S, Cl, K, Ca, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn)
● 미분 간섭 현미경

미분 간섭 현미경
웨이퍼 표면의 요철을 관찰할 수 있습니다.
● 웨이퍼 표면 레이저 검사툴

웨이퍼 표면 레이저 검사툴
"탐지 한계:7um
유닛:장수명 Violet LD 레이저 타입"
웨이퍼 크기:4, 5, 6인치
범위:0.087μ~5.0μ
● 웨이퍼 표면 레이저 검사툴

웨이퍼 표면 레이저 검사툴
웨이퍼 크기:4, 5, 6인치
범위:0.208μ~1.0μ
● 웨이퍼 표면 레이저 검사툴

웨이퍼 표면 레이저 검사툴
웨이퍼 크기:5, 6, 8인치
범위:0.1μ~5.0μ
● 육안 검사

육안 검사
웨이퍼는 할로겐 램프가 설치된 암실에서 검사합니다.


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