半導体製造の一翼を担う企業として挑み続けています。六甲電子株式会社


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六甲電子株式会社

〒663-8105
兵庫県西宮市中島町8番5号


加盟団体

SIIQ

NEDIA

SiCアライアンス

SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会

http://www.pdea.jp/

新素材対応の専用の新工場オープン

2017/01〜


〜新素材:SiC,サファイア,LT等〜

● 量産化に伴う処理枚数能力増加

● シリコン工程と完全分離し,受入〜出荷までを一環処理

● プロセス短縮によるコスト削減

● 量産開始:2017年3月

事業案内
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当社独自の手法によりSICウエハの研削→研磨→RCA洗浄を一貫して行えることが我々の強みです。

高速・低ソリ・高面粗度・大口径対応が可能となり、一貫加工にて対応いたします。





1軸グラインダー


1軸グラインダー
TREX610

TREX610
ウエハ表面金属不純物12元素(S, Cl, K, Ca, Ti, Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn)の分析が可能です。
candela CS20

candela CS20
測定対応インチ:3・4・5・6インチ
測定厚み:300-1400μm
自動スクラブ洗浄装置
新装置:
研磨後に微小に残ったスラリーなどのアルカリ成分を自然酸化膜にコーティングされる前に、いかに早りきるかによって、シミやパーティクルのもとになっていました。
従来、人が一枚一枚(バッチのころはバッチごと)にウエハーに対して界面活性剤でスクラブ洗浄を行っていましたが、自動機を導入することにより人による仕上がりの違いをなくし均一かつ高精度なおアーティクルの除去が達成されました。

■加工対応径:4・5・6・8インチ
■量産厚み対応: 〜 100μm
■パターン付ウエハ・ M EMSウエハなどのSOIウエハ
ガラスサポート付きウエハなどにも対応。
自動スクラブ洗浄装置

自動スクラブ洗浄装置
手動に比べパーティクルの低減が著しいです。
自動スクラブ洗浄装置

自動スクラブ洗浄装置
加工対象ウエハ:4・5・6・8インチ対応
サファイア・SiCなどシリコン以外でも効果発揮。
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