 |
|
|
|
|
技術、加工についてのご質問等、ご相談などお気軽にお問合せ下さい。
 |
|
 |
求人に関するお問い合わせについては、下のボタンをクリック下さい。
|
|
平成２４年度西宮市
優良事業所顕彰受賞
 |
六甲電子株式会社
〒663-8105
兵庫県西宮市中島町8番5号
|
|
|
|
|
|
|
■ 素材別 加工対応表
|
|
 |
|
○印＝対応OK 各素材＊各加工内容
|
|
|
加工内容
|
|
素材
|
面
|
べベル
加工
|
仮接合
|
研削
|
膜除去
エッチング
|
研磨
|
両面
研磨
|
CMP
|
RCA
洗浄
|
再生
|
イオン
ビーム
|
フレーム
マウント
|
|
シリコン
|
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
|
○
|
|
NドープSiC
|
Si面
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
C面
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
半絶縁SiC
|
Si面
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
C面
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
多結晶SiC
|
|
○
|
○
|
○
|
|
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
LT
|
|
○
|
|
○
|
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
LN
|
|
○
|
|
○
|
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
GaN
|
Ga面
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
N面
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
サファイア
|
|
○
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
Ga2O3
|
|
○
|
○
|
○
|
|
|
|
|
|
|
|
○
|
|
AlN
|
|
○
|
|
|
|
|
|
|
○
|
|
|
|
|
石英
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
GaN on Si
|
|
○
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
GaN on Sap
|
|
○
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
GaN on SiC
|
|
○
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
SOI
|
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
酸化膜
|
|
|
|
|
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
ガラス
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
|
2inchGaN-250um CMP仕上
|
 |
|
|
|
CMP仕上 2inchGaN-250um仕上
|
ウェハ
|
A
|
B
|
C
|
D
|
E
|
TV5
|
AVE.
|
|
um
|
250.4
|
250.4
|
249.6
|
250.7
|
250.2
|
1.1
|
250.3
|
Zygo測定データ
|
No.
|
Sa (面粗さ）
単位：nm
|
|
外周
|
中間
|
中心
|
平均
|
|
1
|
0.097
|
0.188
|
0.194
|
0.160
|
|
|
|
|
6inchSAP-250um CMP仕上
|
 |
|
|
|
CMP仕上 6inchSAP-250um仕上 単位：um
|
ウェハ
|
A
|
B
|
C
|
D
|
E
|
TV5
|
AVE.
|
|
1
|
250.2
|
249.8
|
250.8
|
250.1
|
249.6
|
1.2
|
250.1
|
|
2
|
249.1
|
248.2
|
249.5
|
249.7
|
248.5
|
1.5
|
249.0
|
|
3
|
250.5
|
250.1
|
248.8
|
250.3
|
249.8
|
1.7
|
249.9
|
Zygo測定データ
|
No.
|
Sa (面粗さ）
単位：nm
|
|
外周
|
中間
|
中心
|
平均
|
|
1
|
6.23
|
6.01
|
5.20
|
5.81
|
|
2
|
4.60
|
5.30
|
5.81
|
5.24
|
|
3
|
6.21
|
6.07
|
5.35
|
5.88
|
|
|
|
|
6inch-GaNonSiC(ガラス樹脂接合) CMP仕上げ
|
 |
|
|
|
CMP仕上 6inch-GaNonSiC(ガラス樹脂接合) 単位：um
|
ウェハ
|
A
|
B
|
C
|
D
|
E
|
TV5
|
AVE.
|
|
1
|
50.5
|
50.2
|
50.1
|
48.4
|
49.3
|
2.1
|
49.7
|
|
2
|
50.1
|
49.1
|
50.3
|
50.6
|
50.8
|
1.7
|
50.2
|
|
3
|
49.6
|
49.8
|
50.1
|
51.6
|
50.8
|
2.0
|
50.4
|
Zygo測定データ
|
No.
|
Sa (面粗さ）
単位：nm
|
|
外周
|
中間
|
中心
|
平均
|
|
1
|
0.094
|
0.094
|
0.098
|
0.095
|
|
2
|
0.091
|
0.094
|
0.096
|
0.094
|
|
3
|
0.091
|
0.098
|
0.097
|
0.095
|
|
|
| |
|
|
