半導体製造の一翼を担う企業として挑み続けています。六甲電子株式会社


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優良事業所顕彰受賞
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六甲電子株式会社

〒663-8105
兵庫県西宮市中島町8番5号


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SiCアライアンス

SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会

パワーデバイス・イネーブリング協会


▼ 検査装置


近年、当社はシリコンのみならずサファイア・SiCといった難削材に関しても今まで培った研削・研磨・洗浄の技術を持って新たな効率的な加工方法を提供すべく研究開発に勤しんでおります。
このような過程で出来上がった製品について、最終的にお客様の満足得れるご評価があってこその仕事と考えております。このご評価は両社間の指標をもって得れるものであり、それに対する最新の検査機器を導入し日々お客様満足を高めるよう努めております。

● 自動分光干渉式厚み測定機

分光干渉式厚み測定機
テープ付きウエハ・SOI・支持基盤付きウエハ・樹脂/テープ貼り合わせウエハのシリコン(2枚以上の場合は計りたい方のみ)のみの厚みが測定出来ます。
● 自動分光干渉式厚み測定機

分光干渉式厚み測定機
これからのMEMS/センサーウエハの薄物加工時総厚み管理ではなく、支持基盤のみ・活性層のみの厚み管理が出来ます。

新装置:比抵抗・P/N・厚みソーター装置
● 比抵抗・P/N・厚みソーター装置

比抵抗・P/N・厚みソーター装置
4・5・6・8インチ対応
● 比抵抗・P/N・厚みソーター装置

比抵抗・P/N・厚みソーター装置
比抵抗値測定範囲:1.0m~3.0MΩ・cm
● Candela CS20 ウエハ表面検査装置

Candela CS20 ウエハ表面検査装置
サファイアやSiCなど透明材料の検査用に用いられ、さまざまな欠陥基板傷、汚れ、エピ層ピット、ハッチング、結晶の割れ、などを検出することができます。
● Candela CS20 ウエハ表面検査装置

Candela CS20 ウエハ表面検査装置
測定対応インチ:3・4・5・6インチ
測定厚み:300-1400μm

     
● 静電容量ウエハ厚み測定機 TME-07

静電容量ウエハ厚み測定機
シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定したポイントの厚さを計測する装置です。
静電容量センサーにより非接触にて、ウェーハ厚さ測定を行います。
● 静電容量ウエハ厚み測定機 TME-07

静電容量ウエハ厚み測定機
ウェーハ厚さは100μm~1800μmに対応します。(ウェーハサイズによります。)
測定ポイントは中心1点、十字測定をレシピにて設定します。
● 全反射蛍光X線表面分析装置TREX610

全反射蛍光X線表面分析装置
ウエハ表面金属不純物12元素(S, Cl, K, Ca, Ti, Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn)の分析が可能です。
● 微分干渉顕微鏡

微分干渉顕微鏡
ウエハの凸凹を立体的に観察できる顕微鏡です。
● ウエハ表面ゴミ検査装置 TOPCON WM7

ウエハ表面ゴミ検査装置
0.07um の最高検出感度(Si)Violet LD高寿命のレーザーを使用。
測定対応インチ:4・5・6インチ
測定範囲:0.087μ~5.0μ
● ウエハ表面ゴミ検査装置 TOPCON WM3

ウエハ表面ゴミ検査装置
測定対応インチ:4・5・6インチ
測定範囲:0.208μ~1.0μ
● ウエハ表面ゴミ検査装置 LS6030

ウエハ表面ゴミ検査装置
測定対応インチ:5・6・8インチ
測定範囲:0.1μ~5.0μ
● 目視検査

目視検査
ハロゲンランプにより研磨加工面の表面異常を確認します。


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