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平成24年度西宮市
優良事業所顕彰受賞
![平成24年度西宮市優良事業所顕彰受賞](img_common/nishinomiyatechprize.gif)
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六甲電子株式会社
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〒663-8105
兵庫県西宮市中島町8番5号
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![加盟団体](img_common/kameidanntai.gif)
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![SIIQ](img_common/siiq.gif)
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![NEDIA](img_common/JASVAlogo.gif)
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![SiCアライアンス](img_common/sicari.gif)
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![SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会](img_common/sicwide.gif)
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![パワーデバイス・イネーブリング協会](img_common/powerdevice.gif)
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六甲電子ではサファイア・SiCなどの難研削材の大口径化に向け、従来のシリコン加工機では限界があると判断し、固定砥粒で削れるサファイア・SiC専用グラインダーを導入。
現在各種お客様要望のウエハを試作し、後工程も含めご評価をいただいております。
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■ 六甲電子のサファイア・SiCなどの難研削材に対する加工の考え方 |
●従来の難研削材加工メーカーとは違い、当社は半導体関連のお客様に育てていただいた環境管理レベル(純水管理・クリーンルーム環境下・装置/作業員教育での手順書/作業員認定管理など)にてシリコン同様の環境管理レベルで作業を行えます。
●対象ワークはプライムウエハのみならず、デバイス付きウエハの裏面薄化も対象になるため、次工程におけるワークの清浄度は必修と考え、ワックスレスでのプロセスを構築。
●ワークの薄化(研削加工)→鏡面化・ストレスリリーフ(ポリッシュ加工)→加工面の洗浄(コンタミ・パーティクルの低減)(RCA洗浄)及びべベルの加工を弊社一社で対応可能です。
●従来加工方法に比べ時間・コストにおいて低減が見込まれます。
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一般的なサファイア・SiC加工 |
六甲電子のサファイア・SiC加工 |
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ダイアラッピング |
ダイアポリッシュ |
ポリッシュCMP(バッチ) |
グラインディング |
ポリッシュCMP |
ランニングコスト |
高(金属定盤+ダイアモンド) |
高(金属定盤orパッド+ダイアモンド) |
中(パッド+スラリー) |
中(ダイアモンドホイール) |
中(パッド+スラリー) |
加工ノウハウ |
高 |
高 |
中 |
高 |
高 |
装置コスト |
高 |
高 |
中 |
高 |
高 |
加工速度 |
極低 |
極低 |
低 |
中 |
高 |
備考 |
ワックス固定定盤修正の難易度が高い、工程数が多い |
ワックス固定定盤修正の難易度が高い、工程数が多い |
ワックス固定定盤修正の難易度が高い |
真空吸着・サファイア・.SiC専用全自動研削装置 |
ワックスレス方式にて研磨 |
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■ 新装置:
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![ダイアラップ加工装置](img_SPgrinder/Spgrinder-09.jpg)
3・4・5・6インチ対応。 |
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![ダイアラップ加工装置](img_SPgrinder/Spgrinder-10.jpg)
SiC膜付ウエハ再生の膜処理が可能です。 |
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![サファイア・SiC専用グラインダー](img_SPgrinder/Spgrinder-01.jpg)
ターゲットは6インチのサファイア・SiCなど難研削材です。 |
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![サファイア・SiC専用グラインダー](img_SPgrinder/Spgrinder-02.jpg)
NC制御により自動加工が可能です。 |
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![サファイア・SiC専用グラインダー](img_SPgrinder/Spgrinder-03.jpg)
自動搬送方式でフルオートで加工ができます。 |
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![サファイア・SiC専用グラインダー](img_SPgrinder/Spgrinder-04.jpg)
ウエハは真空吸着でワックスなどは不要です。 |
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![サファイア6インチ](img_SPgrinder/Spgrinder-05.jpg)
パターン付・プライム共に加工が可能です。 |
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![サファイア6インチ](img_SPgrinder/Spgrinder-06.jpg)
専用砥石による研削を行います。 |
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![SiC6インチ](img_SPgrinder/Spgrinder-07.jpg)
パターン付・プライム共に加工が可能です。 |
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![SiC6インチ](img_SPgrinder/Spgrinder-08.jpg)
専用砥石による研削を行います。 |
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