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技術、加工についてのご質問等、ご相談などお気軽にお問合せ下さい。
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平成２４年度西宮市
優良事業所顕彰受賞
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六甲電子株式会社
〒663-8105
兵庫県西宮市中島町8番5号
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半導体製造工程の中で当社では、表面・裏面の精密研削・研磨加工、お客様の各工程で使われるモニターウエハーの再生研磨加工、それに伴なう化学処理や金属汚染・パーティクル管理を行うRCA洗浄などを行います。また、ＭＥＭＳウエハなどの特殊ウエハなど各種加工をしています。
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裏面研削加工
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裏面研磨加工
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裏面研削＆研磨加工
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■4-8インチ対応
■Bump付きウエハ
■感圧・ＵＶテープ
■BG後リングマウント
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■4-8インチ対応
■バッチ・枚様研磨装置
■片面・両面ミラー仕上げ
■ＲＣＡ洗浄
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■4-8インチ対応
■バッチ・枚様研磨装置
■片面・両面ミラー仕上げ
■ＧＷＳＳ |
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再生研磨加工
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ＭＥＭＳウエハ加工
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■4-6インチ対応
■膜除去
■ＲＣＡ洗浄
■パーティクル・メタル汚染・厚み・外観検査
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■4-8インチ対応
■BG&POL
■SOI各層厚み管理加工
■GWSS
■キャビティー構造・
貫通電極
■ハーフカットダイシング
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UVテープ剥離器（ダイシングリングも入ります） |
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ウエハ1枚からの処理が可能です。 |
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８インチウエハまで純水・エアーの２流体で洗浄・リンス・乾燥を行います。 |
モニター再生加工
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| お客様のウエハプロセスで使用済みになったモニター・ダミーウエハを新品同等品質に再生し、複数回使用を可能にするリサイクル事業です。 |
対応ウエハ
口径：
３インチ
４インチ
５インチ
６インチ |
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膜除去
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エッチング液
選択
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受入
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研磨
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厚み・膜種分類
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出荷
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検査
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洗浄
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パーティクル・
金属汚染・厚み・外観
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RCA洗浄
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各種製膜に対してウエットエッチにて膜除去を行います。 |
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バッチ式鏡面研磨を行います。 |
枚様式で鏡面研磨を行います。 |
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お客様の要求に従い、金属汚染・パーティクルの除去を行います。 |
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