半導体製造の一翼を担う企業として挑み続けています。六甲電子株式会社


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平成24年度西宮市
優良事業所顕彰受賞
平成24年度西宮市優良事業所顕彰受賞


六甲電子株式会社

〒663-8105
兵庫県西宮市中島町8番5号


加盟団体

SIIQ

NEDIA

SiCアライアンス

SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会

パワーデバイス・イネーブリング協会

▼ 取り扱い業務一覧

半導体製造工程の中で当社では、表面・裏面の精密研削・研磨加工、お客様の各工程で使われるモニターウエハーの再生研磨加工、それに伴なう化学処理や金属汚染・パーティクル管理を行うRCA洗浄などを行います。また、MEMSウエハなどの特殊ウエハなど各種加工をしています。

■ 主要加工内容

 

裏面研削加工

裏面研磨加工

裏面研削&研磨加工
■4-8インチ対応
■Bump付きウエハ
■感圧・UVテープ
■BG後リングマウント

■4-8インチ対応
■バッチ・枚様研磨装置
■片面・両面ミラー仕上げ
■RCA洗浄


■4-8インチ対応
■バッチ・枚様研磨装置
■片面・両面ミラー仕上げ
■GWSS
 
 

再生研磨加工
 

MEMSウエハ加工
     
■4-6インチ対応
■膜除去
■RCA洗浄
■パーティクル・メタル汚染・厚み・外観検査

■4-8インチ対応
■BG&POL
■SOI各層厚み管理加工
■GWSS
■キャビティー構造・
貫通電極
■ハーフカットダイシング

 
 

■ 各工程で使用の機器紹介&解説
● UV照射器

UV照射器
UVテープ剥離器(ダイシングリングも入ります)
● フルオートグラインダー

フルオートグラインダー
ウエハ1枚からの処理が可能です。
 


● 2流体洗浄器

2流体洗浄器
8インチウエハまで純水・エアーの2流体で洗浄・リンス・乾燥を行います。

モニター再生加工
お客様のウエハプロセスで使用済みになったモニター・ダミーウエハを新品同等品質に再生し、複数回使用を可能にするリサイクル事業です。
対応ウエハ
口径:
3インチ
4インチ
5インチ
6インチ
膜除去
エッチング液
選択
 
受入
研磨
厚み・膜種分類
 
 
出荷
検査
洗浄
 
パーティクル・
金属汚染・厚み・外観
 
RCA洗浄

● 膜除去

膜除去
各種製膜に対してウエットエッチにて膜除去を行います。
● バッチ式研磨機

バッチ式研磨機
バッチ式鏡面研磨を行います。
● 枚様式研磨機

枚葉式研磨機
枚様式で鏡面研磨を行います。
● RCA洗浄装置

RCA洗浄装置
お客様の要求に従い、金属汚染・パーティクルの除去を行います。
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