半導体製造の一翼を担う企業として挑み続けています。六甲電子株式会社


日本語

english

簡体中分

繁体中分

한국

Deutsch

Le français

italiano

TEL 0798-65-4508

ホームサイトマッププライバシーポリシー
事業案内 六甲の強み 加工技術 品質・環境
会社案内
アクセス
お問合せ

パワーデバイス


お問合せ
技術、加工についてのご質問等、ご相談などお気軽にお問合せ下さい。
TEL:0798-65-4508
FAX:0798-67-5038
担当者:鈴木
お問合せフォーム

アクセス&カレンダー

求人に関するお問い合わせについては、下のボタンをクリック下さい。



お問合せフォーム



パワーデバイス

半導体センサー

モニタ再生研磨

MEMS試作

SiC

サファイア

プレミアムプロセス

検査装置

サファイア・SiC専用グラインダー

ナイフエッジ防止加工

バックグラインド

ポリッシュ

パターン付ウエハRCA洗浄

信頼性への拘り

品質への取組み

環境への取組み

安全への取組み

BCP

CSR

日本語

english

簡体中分

繁体中分

한국

deutsch

Le français

itariano

YOUTUBE

アクセス

六甲ブログ

ISO9001認証取得品質マネジメントシステムISO14001認証取得環境マネジメントシステム

経営革新計画

阪神南リーディングテクノロジー

中小企業庁承認BCP

西宮市元気産業育成補助金

西宮市地球温暖化防止

円高エネルギー制約対策補助金

ものづくり中小企業試作開発支援

事業高度化計画

中小企業海外進出

ものづくり商業サービス確信補助金


平成24年度西宮市
優良事業所顕彰受賞
平成24年度西宮市優良事業所顕彰受賞


六甲電子株式会社

〒663-8105
兵庫県西宮市中島町8番5号


加盟団体

SIIQ

NEDIA

SiCアライアンス

SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会

パワーデバイス・イネーブリング協会

▼ パワーデバイス

パワーデバイスは他のデバイスとは異なり、高い電圧が掛かるため高耐圧のシリコンを使用しており、また、それに倣って電流の数値も高くなるため、耐熱性も必要になってきます。高耐圧化については、シリコンにエピ成長をさせ高い電圧に対応できる完全な結晶とさせ、耐熱性についてはウエハを薄くすることにより、放熱性を向上させます。
我々、六甲電子は後者のウエハを薄くすることに対応し、ウエハの裏面研削を行っております。また、お客様個々の製品特性に影響を与えないようゲッタリング層を形成すべく研削するような砥石・レシピのノウハウを有し、時間を掛け確認し、信頼性の高い製品を提供しております。

また、パワーデバイスは縦に電気が流れるデバイスであるため、裏面に電極を設け、表面に電気を流す構造になっており、裏面の電極にはメタルを蒸着させています。この蒸着面が均一でなければ、接合物の剥がれ(空気などの進入後温度変化により剥がれてしまう)につながるため、通常のストレスリリーフといった研磨面ではなく、ミラー面を要求されております。ここでも我々六甲電子は長年の研磨技術により客先ニーズに対応すべき精度の製品をを提供しております。

これら一連の研削→研磨→RCA洗浄を一貫して行えることが我々の強みです。


■ 各工程で使用の機器紹介&解説
● 目視検査

目視検査
製品受入・テープ貼付後・研削後に面状態を目視で検査します。
● フルオートグラインダー

フルオートグラインダー
4~8インチウエハを高精度に平坦に、特性を変えることなく研削します。
● 枚葉式研磨機

枚様式研磨機
お客様のご要望・条件により研磨いたします。
● バッチ貼付

バッチ貼付
バッチ研磨のためプレートにウエハを平坦に貼りつけます。
● バッチ研磨

バッチ研磨
4~8インチウエハをミラー面に研磨いたします。
● バッチ剥離

バッチ剥離
研磨したウエハをプレートより剥離ます。
● RCA洗浄

RCA洗浄
研磨後のパーティクル・金属汚染の除去のため、ウエハーを洗浄します。
● 出荷前検査

出荷前検査
最終出荷前に、お客様条件に対応すべく検査をし、出荷いたします。
TOP会社案内事業案内六甲の強み加工技術品質・環境アクセスお問合せプライバシーポリシーパワーデバイス半導体センサーモニタ再生研磨MEMS・試作SiCサファイア信頼性への拘り品質への取組み環境への取組み安全への取組みPremium process検査装置サファイア&SiC専用グラインダナイフエッジ防止加工バックグラインドポリッシュパターン付ウエハRCA洗浄求人募集サイトマップBCPCSR
日本語 english 簡体中文 繁体中文 한국 Deutsch Le français italiano
六甲電子株式会社
兵庫県西宮市中島町8番5号 TEL : 0798-65-4508
copy right 2010, ROKKO, All Rights Reserved.