Chez Rokko, nous assumons les rôles suivants sur le processus de
production de semi-conducteurs.
-La surface et l’arrière des plaquettes sont soumis à un meulage
et à un polissage perfectionnés
-Reproduction des plaquettes de surveillance
-Traitement chimique et nettoyage RCA pour le contrôle des contaminations
métalliques et les particules dans le processus de reproduction
des plaquettes.
-Traitement spécial des plaquettes pour les applications MEMS
■ Principaux services de traitement
Meulage de la face arrière
Polissage de la face arrière
Backside grinding & Polishing
■4–8 pouces
■Plaquette bosselée
■Plaquette montée sur un capteur de pression ou sur un ruban
adhésif UV
■Plaquettes à cadre circulaire
■4–8 pouces
■Équipement de polissage par système de lots/unique
■Finition des miroirs latéraux simples/doubles
■Nettoyage RCA
■4–8 pouces
■Équipement de polissage par système de lots/unique
■Finition des miroirs latéraux simples/doubles
■ＧＷＳＳ
Polissage de reproduction
Traitement des plaquettes
MEMS
■4–6 pouces
■Décapage de film
■Nettoyage RCA
■Inspection des particules, de la contamination métallique,
de l’épaisseur et de l’apparence
■4–8 pouces
■BG&POL
■Contrôle de l’épaisseur de chaque couche de plaquette SOI
■GWSS
■Plaquette structurée en cavité et TSV (silicium traversant
via) une plaquette
■Plaquette coupe en dés à moitié
■ Présentation et description des équipements
utilisés dans chaque traitement
● Irradiateur UV
Retire le ruban UV (y compris le cercle de découpage)
● Meuleuse entièrement automatisée
Capable de produire une plaquette simple ou multiple.
● Outil de nettoyage à vapeur
double
Cet outil unique permet le nettoyage à l'eau désionisée, le
rinçage et le séchage à l’air des plaquettes jusqu’à 8 pouces
de diamètre.
Reproduction des plaquettes de surveillance
Ce service de reproduction permet de réutiliser
les plaquettes de surveillance utilisées dans le traitement
de fabrication des semi-conducteurs en affinant leurs conditions
à la qualité d’origine. Grâce à ces services, les plaquettes
de surveillance peuvent être utilisées de manière répétée
afin de réduire les coûts matériels.
Taille de
plaquette
3pouces
4 pouces
5 pouces
6 pouces
Décapage
de film
Recette choisie
Déroulement
de l’inspection
Polissage
Classification de l’épaisseur
et le type de film
Expédition
Inspection
finale
Nettoyage
Inspection des particules,
de la contamination métallique, de l’épaisseur et de l’apparence
Nettoyage RCA
● Décapage de film
Divers films sur les plaquettes sont retirés par gravure chimique.
● Polisseuse par système de lots
Effectue le polissage miroir de plusieurs plaquettes.。
● Polisseuse de plaquettes simples
Polisseuse pour plaquette simple.
● Matériel de nettoyage RCA
Les plaquettes sont nettoyées pour éliminer les particules
et les contaminations métalliques.
