Wir recyceln Monitor-Wafer,
welche in Halbleiterprozessen bereits von unseren Kunden verwendet
wurden, und bringen sie auf den neuesten Stand, sodass sie
mehrmals wiederverwendet werden können.
Größe des
Wafer:
3-Zoll
4-Zoll
5-Zoll
6-Zoll
Beseitigung
des Filmes
Selektion des Rezepts
Eingangskontrolle
Polieren
Klassifizierung der
Dicke bzw. Filmart
Versand
Endkontrolle
Reinigung
Partikel, Metallverunreinigung,
Überprüfung der Dicke und des Aussehens
RCA Reinigung
■ Neues Werkzeug: Wafersortierer für Widerstand,
P/N, Dicke
● Wafersortierer für Widerstand,
P/N, Dicke
Für 4,5,6,8 Zoll
● Wafersortierer für Widerstand,
P/N, Dicke
Messbarer Widerstand: 1.0m – 3.0 MΩ・cm
■ Werkzeuge
● Klassifizierung
der Filmart
Wafer werden von erfahrenen Anwendern je nach Filmtyp sortiert.
● Beseitigung des
Filmes
Durch chemisches Ätzen werden verschiedene Filme auf der Waferoberfläche
beseitigt.
● Sortierung der
Dicke
Die Wafer werden nach dem Abziehen der Filme je nach Dicke
sortiert.
● Wafermontage
Wafer werden auf Keramikplatten montiert.
● Poliergeräte mit Batchsystem
Führt mehrere Wafer-Spiegelpolierungen durch.
● Waferdemontage
Wafer werden nach dem Polieren von einer Platte demontiert.
● RCA Reinigungsmaschine
Wafer werden gereinigt um Metallverunreinigungen und Partikel
zu entfernen.
● Partikelzähler
Dieses Werkzeug untersucht Partikel auf der polierten Waferoberflächen.
● Endkontrolle
Wafer werden gemessen und darauf überprüft, ob sie mit den
Anforderungen der Kunden übereinstimmen.
