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如果對技術和加工問題需要諮詢，請隨時與我們聯繫。
聯系人：營業部
TEL: 81-798-65-4508
FAX: 81-798-67-5038
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六甲電子株式會社
郵政編號: 663-8105
兵庫縣西宮市中島町8-5
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測試片的再生加工
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| 這是一項再利用加工，將客戶在晶圓生產過程中使用過的測試片/檔片(Dummy
Wafer)重新加工成跟新片同等質量的晶圓，並可多次使用。 |
對應晶圓尺寸
3英寸
4英寸
5英寸
6英寸 |
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除膜
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選擇化學藥水
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驗貨
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拋光
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厚度・薄膜類型的分類
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出貨
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檢查
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清洗
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顆粒・金屬汙染・厚度和外觀
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RCA清洗
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■ 新設備：電阻率・P/N・厚度分選儀
對應於4、5、6、8英寸 |
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電阻率測量範圍：1.0m～3.0MΩ・cm |
熟練工可一目了然地在多種多樣的膜品種中進行分選。 |
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通過濕蝕刻去除各種制膜。 |
在除膜後把晶圓按照厚度分類。 |
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將晶圓平貼在平板上進行批量拋光。 |
金屬汙染・顆粒的清除。 |
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對拋光的晶圓片上的顆粒進行檢查。 |
在出貨之前將根據客戶的要求進行檢查後出貨。 |
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可以對晶圓表面的不純物12種元素（S、Cl、K、Ca、Ti、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn）進行分析。 |
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