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如果對技術和加工問題需要諮詢，請隨時與我們聯繫。
聯系人：營業部
TEL: 81-798-65-4508
FAX: 81-798-67-5038
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六甲電子株式會社
郵政編號: 663-8105
兵庫縣西宮市中島町8-5
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功率器件與其他器件不同，由於電壓較高，因此使用耐高壓的矽，而且，由於電流值也相應增加，因此也要求具有耐熱性。對於耐高壓化，可以通過在矽上外延生長使其應對高電壓；而對於耐熱性，可通過對晶園減薄來提高散熱性。
六甲電子對應於後者的晶圓減薄，進行晶圓的背面減薄加工。此外，為了不影響不同客戶的不同的產品特性，在形成吸氣層方面，我們擁有用於減薄的砂輪・配方的經驗技術，不惜花時間進行確認以提供高度可靠的產品。
另外，由於功率器件是電流縱向流動的器件，在背面要設置電極以形成向表面通電的結構，因此在背面的電極上要蒸鍍金屬。如果該蒸鍍面不均勻，會導致接合物剝離（空氣等進入後的溫度變化而發生剝離），因此要求使用鏡面而不是通常的應力釋放的拋光面。在此，我們六甲電子將通過長年累計的拋光技術，來提供滿足客戶需求的高精度產品。
我們的優勢就在於，可以提供減薄→拋光→RCA清洗這壹條龍式加工技術。
接受產品·貼膜後·減薄後對晶圓面狀態進行目視檢查。 |
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在不改變特性的狀態下以高精度和平坦度對4～8英寸的晶圓進行減薄。 |
根據客戶的要求和條件進行拋光。 |
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將晶圓平貼在平板上進行批量拋光。 |
將4～8英寸的晶圓抛光至鏡面。 |
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從平板上剝離拋光後的晶圓。 |
清洗晶圓，清除拋光後的顆粒・金屬汙染。 |
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在出貨之前將根據客戶的要求進行檢查後出貨。 |
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