GWSS（ガラス基板支持ウェハ）
ウェハ径： φ200mm
ウェハ厚み： 11μm
BG： DFG8540 ＃2000仕上げ
ガラス： 1.0mm パイレックスガラス
反りウェハ
ウェハ径： φ200mm
ウェハ厚み： 32μm
BG： DFG8540 ＃2000仕上げ
BGテープ：
GWSS（ガラス基板支持ウェハ） ウェハ径： φ200mm ウェハ厚み： 11μm BG： DFG8540 ＃2000仕上げ ガラス： 1.0mm パイレックスガラス |
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反りウェハ ウェハ径： φ200mm ウェハ厚み： 32μm BG： DFG8540 ＃2000仕上げ BGテープ： |
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