GWSS(ガラス基板支持ウェハ)

ウェハ径: φ200mm
ウェハ厚み: 11μm
BG: DFG8540 #2000仕上げ
ガラス: 1.0mm パイレックスガラス


反りウェハ

ウェハ径: φ200mm
ウェハ厚み: 32μm
BG: DFG8540 #2000仕上げ
BGテープ: